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第417章 验证 领先 突发（第2页）
说到这里，他转头看向王世杰，“王总，现在良率如何？”
王世杰指尖在数据平板上快速滑动，语气带着难掩的振奋：“楚总，刚完成三轮小批量测试！使用新光源的180纳米光刻机，晶圆良率稳定在97.7%，比原有光源提升了3.5个百分点！而且连续运转两小时后，良率波动仅0.1%，稳定性远超预期。”
他将平板递到楚千澜与沈院士面前，屏幕上清晰呈现着良率曲线与参数对比图：“您看，线宽均匀度、边缘粗糙度等关键指标，都比国际同类型设备高出一截。
刚才我们还做了极限测试，即便将光刻速度提升30%，良率依旧能维持在88%以上，完全满足量产需求。”
沈院士俯身细看数据，眼中满是惊叹：“97.7%的良率，这在国产光刻机中是前所未有的突破！有了这个基础，45纳米光刻产线的研发就能少走很多弯路。”
楚千澜指尖划过平板上的良率曲线，眸色沉静却难掩锋芒：“良率达标只是第一步，接下来要重点验证光源设备的稳定性以及与其他光刻设备的适配性。”
他的话音刚落，刺耳的警报声瞬间打破车间的喜悦氛围，所有人的目光齐刷刷投向新光源设备的控制面板。
屏幕上弹出醒目的红色警告：“光束聚焦偏移，误差值超出安全阈值！”
王世杰脸色骤变，快步冲到操作台前，指尖在键盘上飞速敲击，试图修正参数：“怎么会突然偏移？刚才的稳定性测试明明毫无问题！”
张北光紧急调取实时监测数据，声音带着些许慌乱：“王总，是光学镜头的温度补偿模块出现异常！连续高负荷运转后，镜头热胀冷缩导致光路偏移，现在偏移量已经达到0.01微米，超出光刻允许的误差范围！”
沈院士眉头紧锁，扶着观察窗的手指微微收紧：“热稳定性还是没过关？极紫外光源的高能量特性本就容易导致部件发热，这是行业通病，但没想到会在这个节点爆发。”
楚千澜神色未变，目光紧紧锁定屏幕上跳动的偏移曲线：“别急，先切断光源输出，冷却设备后排查问题根源。”
张北光忽然说道，“这套光源的温度补偿算法是按实验室环境设计的，量产场景下的持续发热超出预期，必须优化散热结构和算法参数。”
王世杰立即下达指令，技术人员迅速响应，关闭光源，启动强制冷却系统。
淡紫色的光束逐渐熄灭，设备发出的嗡鸣也慢慢减弱，控制面板上的温度数值开始缓慢下降。
王世杰擦了擦额头的冷汗，语气带着些许后怕，“我们之前的测试时长最多只有一小时，没考虑到连续量产时的持续发热问题。光学镜头的散热通道设计得太保守，热量无法快速导出。”
虽然还没有进行全面检查，但故障原因已经基本确认。
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