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第336章 试产成功 来电（第3页）

王世杰握文件的手指微微收紧，眼中闪过一丝了然：“楚总放心，多重曝光技术的掩模版制作工艺，我们已经组织工程师专项攻关，目前良率稳定在85%以上，完全能满足45nm芯片的试产需求。

至于65nm光刻机的复刻，张北光团队早已制定详细拆解方案，等熟悉完多重曝光技术下的45纳米芯片制作，就可以正式开启。”

楚千澜点了点头，继续问道，“去年复刻的250纳米光刻机，现在是什么情况？”

王世杰听到“250纳米光刻机”的问题，眼中闪过一丝兴奋，连忙翻开随身携带的笔记本：“张北光团队拆解了原机1326个核心部件，绘制出完整的三维模型图，关键参数误差均控制在±0.5微米以内。”

他顿了顿，语气带着几分自豪：“现在大部分核心部件已经完成制作，安装到位，只差几个关键部件就能彻底完工。”

“没有完成复刻？”楚千澜眸光闪过诧异，“关键部件没有到位，缺的是技术，还是材料？”

王世杰连忙解释：“主要是精密导轨和伺服电机这两个关键部件。

我们尝试了三家国内厂商，生产的导轨定位精度始终差0.003微米，达不到原机±0.005微米的标准；

伺服电机的扭矩波动也超出设计阈值，高速运转时会导致工作台轻微震颤，影响光刻精度。”

他顿了顿，补充道：“张北光团队已经联系了恒川机械，他们正在优化导轨的研磨工艺，预计下个月能拿出达标样品；

伺服电机则找了一家军工配套企业，对方有高精度电机生产经验，只是需要重新开模，周期大概要两个月。”

楚千澜指尖轻叩观察窗边缘，目光扫过车间内忙碌的工程师：“两个月时间能等，但要同步推进，让张北光团队随时跟进，确保部件生产过程中的参数偏差能及时调整，别等最后组装才发现问题。

拆解复刻65纳米光刻机的过程，会遇到更多麻烦的问题，有什么解决不了的，随时联系我！”

就在此时，王世杰接到一个电话，脸色微变，“楚总，沈院士来电，想要过来参观65纳米光刻机？”

楚千澜闻言，眼中闪过一丝难看，“他知道我们生产出45纳米芯片了？”

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